रिएक्शन गैस में रासायनिक वाष्प के बयान में डबल समानांतर ऊर्ध्वाधर गोलाकार सीवीडी वाष्प जमाव भट्ठी, रासायनिक पदार्थ (आमतौर पर कार्बनिक यौगिकों या धातु कार्बनिक यौगिकों) को प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है, और वे उच्च तापमान पर थर्मल रूप से विघटित या रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करते हैं। , प्रतिक्रिया उत्पाद उत्पन्न करें, जो एक पतली फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट पर जमा किए जाते हैं। इस विधि का उपयोग धातुओं, मिश्र धातुओं, अर्धचालक और सिरेमिक को तैयार करने के लिए किया जा सकता है, और मुख्य रूप से सीवीडी और सीवीआई प्रक्रियाओं द्वारा सी/सी, सी/एसआईसी और एसआईसी/एसआईसी समग्र सामग्री की तैयारी के लिए उपयोग किया जाता है।
1. मॉडल: YHGYL-CJL **/**-** (अनुकूलित आकार विनिर्देश)
2. हीटिंग विधि: आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट प्रतिरोध हीटिंग
3. पावर कंट्रोल: कम डीसी वोल्टेज, उच्च वर्तमान मोड
4. डिजाइन शक्ति 200kW है, और वास्तविक उत्पादन शक्ति 150kW से अधिक नहीं है।
5. बिजली की आपूर्ति: तीन-चरण पांच-तार प्रणाली, तीन-चरण 380V, आवृत्ति 50 हर्ट्ज
6. डिजाइन तापमान: 2100 ℃, दीर्घकालिक सामान्य तापमान 2000 ℃ है;
7. शीतलन विधि: प्राकृतिक शीतलन
8. प्रभावी सामग्री प्लेसमेंट स्पेस: ग्राहक द्वारा अनुकूलित
9. हीटिंग रेट: लोडिंग करते समय, 1000 ℃ से नीचे की औसत हीटिंग दर 5 ℃/मिनट है, 1000-1800 ℃ के बीच औसत हीटिंग दर 5 ℃/मिनट है, और 1800-2250 ℃ के बीच औसत हीटिंग दर 3 ℃//है। मिन।
10. तापमान नियंत्रण सटीकता: आरटी कमरे का तापमान -2000 ± ℃ ℃ 5 ℃
11. बिजली की आपूर्ति कॉन्फ़िगरेशन: भट्ठी शरीर के साथ एकीकृत
12. भट्ठी शरीर का प्रकार: क्षैतिज सामने का दरवाजा डिस्चार्जिंग
13. भट्ठी में गैस सामग्री काम करना: वैक्यूम या एआर, एन 2, एनएच, और अन्य गैसों (मामूली सकारात्मक दबाव), वैक्यूम प्रतिस्थापन; (100-7500pa की सीमा में स्वचालित निरंतर दबाव नियंत्रण)
14. तापमान एकरूपता: ± ± 3 ℃ (निरंतर तापमान के 30 मिनट के बाद मूल्यांकन);
15. तापमान माप: मल्टी-ज़ोन टंगस्टन स्लीव टंगस्टन-रेनियम थर्मोकपल तापमान माप
16. तापमान नियंत्रण: जापान शिमडेन FP23, पीआईडी इंटेलिजेंट तापमान नियंत्रक कार्यक्रम नियंत्रण (तापमान नियंत्रण सटीकता: ℃ 0.1 ℃) और मैनुअल नियंत्रण;
17. सुरक्षा विधि: पीएलसी+टच स्क्रीन+ध्वनि और प्रकाश अलार्म
18. वैक्यूम सिस्टम कॉन्फ़िगरेशन: 2H-150 स्लाइड वाल्व पंप
19. वैक्यूम माप: प्रतिरोध + कैपेसिटेंस फिल्म वैक्यूम गेज, मापने की सीमा 0-10-5 पीए
20. दबाव वृद्धि दर: 5PA को खाली करें, पंप को 30 मिनट के लिए रोकें और समय शुरू करें, प्रति घंटे दबाव वृद्धि ≤ 10p
21. कोल्ड अल्टीमेट वैक्यूम डिग्री: ≤5pa (स्वच्छ, ठंड, खाली भट्ठी राज्य में)
22. खाली भट्ठी वैक्यूमिंग टाइम (30min (खाली भट्ठी, कमरे का तापमान, परीक्षण के लिए GB/T10066.1-2004 का संदर्भ लें।)
23. भट्ठी में अधिकतम दबाव 0.02mpa
24. मास फ्लो मीटर: बीजिंग QIXING HUACHUANG
25. कूलिंग सिस्टम: सभी परिसंचारी पानी के पाइप को अच्छी तरह से सील कर दिया जाता है और उपयोग के दौरान कोई रिसाव नहीं होता है;
26. विद्युत नियंत्रण: सीमेंस पीएलसी + डेल्टा 15-इंच टच स्क्रीन। वैक्यूम, तापमान और बिजली जैसे प्रमुख मापदंडों को वास्तविक समय और ऐतिहासिक रूप से क्वेरी किया जा सकता है, और एक यूएसबी फ्लैश ड्राइव के माध्यम से निर्यात किया जा सकता है और एक पेपरलेस रिकॉर्डर स्थापित किया जा सकता है।
27. आयातित सामग्री का उपयोग प्रमुख घटकों के लिए किया जाता है, जैसे कि तापमान नियंत्रण उपकरण और थर्मामीटर।
28. उद्घाटन विधि: मैनुअल
29. सामग्री प्रविष्टि और निकास विधि: विशेष प्रवेश और निकास ट्रकों से सुसज्जित
30. पेंट रंग: मुख्य शरीर दूधिया सफेद, फ्रेम आकाश नीला, आधार काला